ວິທີແກ້ໄຂເຕັກໂນໂລຢີສໍາລັບລະບົບການຈັດສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບຂະບວນການ Semiconductor

ເຕັກໂນໂລຍີທໍ່ທໍ່ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງລະບົບການສະຫນອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງເປັນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສໍາຄັນທີ່ຈະສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ຕ້ອງການໄປສູ່ຈຸດທີ່ໃຊ້ແລະຍັງຮັກສາຄຸນນະພາບທີ່ມີຄຸນນະພາບ;ເທກໂນໂລຍີທໍ່ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງປະກອບມີການອອກແບບທີ່ຖືກຕ້ອງຂອງລະບົບ, ການເລືອກອຸປະກອນແລະອຸປະກອນເສີມ, ການກໍ່ສ້າງແລະການຕິດຕັ້ງ, ແລະການທົດສອບ.ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຫຼາຍຂຶ້ນກ່ຽວກັບຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນຈຸນລະພາກທີ່ເປັນຕົວແທນໂດຍວົງຈອນປະສົມປະສານຂະຫນາດໃຫຍ່ໄດ້ເຮັດໃຫ້ເຕັກໂນໂລຢີທໍ່ຂອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີຄວາມເປັນຫ່ວງແລະເນັ້ນຫນັກ.ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນພາບລວມສັ້ນໆຂອງທໍ່ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈາກການຄັດເລືອກວັດສະດຸof ການກໍ່ສ້າງ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການຍອມຮັບແລະການຄຸ້ມຄອງປະຈໍາວັນ.

ປະເພດຂອງທາດອາຍຜິດທົ່ວໄປ

ການຈັດປະເພດຂອງອາຍແກັສທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ:

ທາດອາຍຜິດທົ່ວໄປ(ອາຍແກັສຫຼາຍ): ໄຮໂດຣເຈນ (H₂₎, ໄນໂຕຣເຈນ (N₂), ອົກຊີ (O₂), argon (A₂), ແລະອື່ນໆ.

ທາດອາຍຜິດພິເສດແມ່ນ SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… ແລະອື່ນໆ.

ປະເພດຂອງອາຍແກັສພິເສດໂດຍທົ່ວໄປສາມາດຖືກຈັດປະເພດເປັນ corrosiveອາຍແກັສ, ເປັນພິດອາຍແກັສ, ໄວໄຟອາຍແກັສ, ເຜົາໄຫມ້ອາຍແກັສ, inertອາຍແກັສ, ແລະອື່ນໆ ອາຍແກັສ semiconductor ທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໂດຍທົ່ວໄປໄດ້ຖືກຈັດປະເພດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້.

(i) Corrosive / ເປັນພິດອາຍແກັສ: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, ນ₃, PH₃, ຄ₂, BCl₃… ອື່ນໆ.

(ii) ການຕິດໄຟອາຍແກັສ: ຮ₂, ຊ₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, ຂ₂H₆, CH2F_2,ຊ₃F, CO… ແລະອື່ນໆ.

(iii) ການເຜົາໄຫມ້ອາຍແກັສ: ອ₂, ຄ₂, ນ₂O, NF₃… ອື່ນໆ.

(iv) inertອາຍແກັສ: ນ₂, CF₄, ຄ₂F₆, ຄ₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, He… ແລະອື່ນໆ.

ອາຍແກັສ semiconductor ຈໍານວນຫຼາຍເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ຮ່າງກາຍຂອງມະນຸດ.ໂດຍສະເພາະ, ບາງທາດອາຍຜິດເຫຼົ່ານີ້, ເຊັ່ນ SiH₄ ການເຜົາໃຫມ້ spontaneous, ຕາບໃດທີ່ການຮົ່ວໄຫຼຈະ react ຮຸນແຮງກັບອົກຊີເຈນໃນອາກາດແລະເລີ່ມເຜົາໄຫມ້;ແລະ AsH₃ສານພິດສູງ, ການຮົ່ວໄຫຼເລັກນ້ອຍອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຊີວິດຂອງມະນຸດ, ມັນແມ່ນຍ້ອນອັນຕະລາຍທີ່ຊັດເຈນເຫຼົ່ານີ້, ດັ່ງນັ້ນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບຄວາມປອດໄພຂອງການອອກແບບລະບົບແມ່ນສູງໂດຍສະເພາະ.

ຂອບເຂດການນໍາໃຊ້ຂອງທາດອາຍຜິດ  

ເປັນວັດຖຸດິບພື້ນຖານທີ່ສໍາຄັນຂອງອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມ, ຜະລິດຕະພັນອາຍແກັສໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງ, ແລະຈໍານວນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງອາຍແກັສທົ່ວໄປຫຼືອາຍແກັສພິເສດຖືກນໍາໃຊ້ໃນໂລຫະ, ເຫຼັກກ້າ, ນໍ້າມັນ, ອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ເຄື່ອງຈັກ, ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແກ້ວ, ceramics, ວັດສະດຸກໍ່ສ້າງ, ການກໍ່ສ້າງ. , ຂະ​ແຫນງ​ການ​ປຸງ​ແຕ່ງ​ອາ​ຫານ​, ຢາ​ປົວ​ພະ​ຍາດ​ແລະ​ຂະ​ແຫນງ​ການ​ແພດ​.ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ເຕັກໂນໂລຢີສູງຂອງຂົງເຂດເຫຼົ່ານີ້ໂດຍສະເພາະ, ແລະເປັນອາຍແກັສວັດຖຸດິບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ຫຼືອາຍແກັສຂະບວນການ.ພຽງ​ແຕ່​ມີ​ຄວາມ​ຕ້ອງການ ​ແລະ ຊຸກຍູ້​ຂະ​ແໜງ​ອຸດສາຫະກຳ​ໃໝ່​ຕ່າງໆ ​ແລະ ວິທະຍາສາດ​ເຕັກ​ໂນ​ໂລ​ຊີ​ທີ່​ທັນ​ສະ​ໄໝ, ຜະລິດ​ຕະພັນ​ອຸດສາຫະກຳ​ອາຍ​ແກັສສາມາດ​ພັດທະນາ​ຢ່າງ​ກ້າວ​ກະ​ໂດດ​ຂັ້ນ​ໃນ​ດ້ານ​ຄວາມ​ຫຼາກ​ຫຼາຍ, ຄຸນ​ນະພາ​ບ ​ແລະ ປະລິມານ.

ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສໃນອຸດສາຫະກໍາຈຸນລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກແລະ semiconductor

ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສສະເຫມີມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການ semiconductor, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຂະບວນການ semiconductor ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆ, ຈາກ ULSI ແບບດັ້ງເດີມ, TFT-LCD ກັບອຸດສາຫະກໍາຈຸນລະພາກໄຟຟ້າກົນຈັກ (MEMS), ທັງຫມົດໃນປະຈຸບັນ. ເຊິ່ງໃຊ້ອັນທີ່ເອີ້ນວ່າຂະບວນການ semiconductor ເປັນຂະບວນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນ.ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສມີຜົນກະທົບທີ່ຊັດເຈນຕໍ່ການປະຕິບັດຂອງອົງປະກອບແລະຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະຄວາມປອດໄພຂອງການສະຫນອງອາຍແກັສແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບສຸຂະພາບຂອງບຸກຄະລາກອນແລະຄວາມປອດໄພຂອງການດໍາເນີນງານຂອງພືດ.

ຄວາມສໍາຄັນຂອງທໍ່ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນການຂົນສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ໃນຂະບວນການຂອງເຫຼັກເລດ melting ແລະເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸ, ປະມານ 200g ຂອງອາຍແກັສສາມາດໄດ້ຮັບການດູດຊຶມຕໍ່ໂຕນ.ຫຼັງຈາກການປຸງແຕ່ງຂອງເຫລໍກສະແຕນເລດ, ບໍ່ພຽງແຕ່ຫນ້າດິນຂອງມັນຫນຽວກັບສິ່ງປົນເປື້ອນຕ່າງໆ, ແຕ່ຍັງຢູ່ໃນແຜ່ນໂລຫະຂອງມັນຍັງດູດຊຶມຈໍານວນອາຍແກັສທີ່ແນ່ນອນ.ເມື່ອມີການໄຫຼວຽນຂອງອາກາດຜ່ານທໍ່, ໂລຫະທີ່ດູດເອົາສ່ວນຂອງອາຍແກັສນີ້ຈະເຂົ້າໄປໃນກະແສລົມຄືນໃຫມ່, ເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຂອງອາຍແກັສບໍລິສຸດ.ເມື່ອກະແສລົມໃນທໍ່ໄຫຼບໍ່ຕໍ່ເນື່ອງ, ທໍ່ດູດອາຍແກັສພາຍໃຕ້ຄວາມກົດດັນ, ແລະເມື່ອກະແສລົມຢຸດຜ່ານ, ອາຍແກັສທີ່ດູດຊຶມໂດຍທໍ່ຈະເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນຫຼຸດລົງ, ແລະອາຍແກັສທີ່ແກ້ໄຂແລ້ວກໍ່ເຂົ້າໄປໃນອາຍແກັສບໍລິສຸດໃນທໍ່. ເປັນ impurities.ໃນເວລາດຽວກັນ, ການດູດຊຶມແລະການແກ້ໄຂແມ່ນຊ້ໍາກັນ, ດັ່ງນັ້ນໂລຫະທີ່ຢູ່ດ້ານໃນຂອງທໍ່ຍັງຜະລິດຜົງຈໍານວນທີ່ແນ່ນອນ, ແລະຝຸ່ນໂລຫະນີ້ຍັງເຮັດໃຫ້ອາຍແກັສບໍລິສຸດພາຍໃນທໍ່.ລັກສະນະຂອງທໍ່ນີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສທີ່ຂົນສົ່ງ, ເຊິ່ງຕ້ອງການບໍ່ພຽງແຕ່ຄວາມລຽບສູງຂອງພື້ນຜິວພາຍໃນຂອງທໍ່, ແຕ່ຍັງມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ສູງ.

ໃນເວລາທີ່ອາຍແກັສທີ່ມີການປະຕິບັດ corrosive ທີ່ເຂັ້ມແຂງຖືກນໍາໃຊ້, ທໍ່ສະແຕນເລດທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຕ້ອງຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບທໍ່.ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນ, ທໍ່ຈະຜະລິດຈຸດກັດກ່ອນໃນດ້ານໃນເນື່ອງຈາກການກັດກ່ອນ, ແລະໃນກໍລະນີຮ້າຍແຮງ, ຈະມີພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງການປອກໂລຫະຫຼືແມ້ກະທັ້ງ perforation, ເຊິ່ງຈະປົນເປື້ອນອາຍແກັສບໍລິສຸດທີ່ຈະແຈກຢາຍ.

ການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມສະອາດສູງຂອງທໍ່ສົ່ງແລະການແຜ່ກະຈາຍຂອງອັດຕາການໄຫຼຂະຫນາດໃຫຍ່.

ໃນຫຼັກການ, ທັງຫມົດຂອງພວກມັນຖືກເຊື່ອມ, ແລະທໍ່ທີ່ໃຊ້ແມ່ນຈໍາເປັນຕ້ອງບໍ່ມີການປ່ຽນແປງໃນການຈັດຕັ້ງໃນເວລາທີ່ການເຊື່ອມໂລຫະ.ວັດສະດຸທີ່ມີປະລິມານຄາບອນສູງເກີນໄປແມ່ນຂຶ້ນກັບອາກາດ permeability ຂອງພາກສ່ວນການເຊື່ອມໂລຫະໃນເວລາທີ່ການເຊື່ອມໂລຫະ, ຊຶ່ງເຮັດໃຫ້ການເຈາະເຊິ່ງກັນແລະກັນຂອງອາຍແກັສພາຍໃນແລະນອກທໍ່ແລະທໍາລາຍຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມແຫ້ງແລ້ງແລະຄວາມສະອາດຂອງອາຍແກັສສົ່ງ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ສູນເສຍການ. ຄວາມພະຍາຍາມທັງຫມົດຂອງພວກເຮົາ.

ສະຫຼຸບແລ້ວ, ສໍາລັບທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະທໍ່ສົ່ງອາຍແກັສພິເສດ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງໃຊ້ການປິ່ນປົວພິເສດຂອງທໍ່ສະແຕນເລດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເພື່ອເຮັດໃຫ້ລະບົບທໍ່ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ລວມທັງທໍ່, fittings, valves, VMB, VMP) ໃນ. ການແຈກຢາຍອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຄອບຄອງພາລະກິດອັນສໍາຄັນ.

ແນວຄວາມຄິດທົ່ວໄປຂອງເຕັກໂນໂລຊີສະອາດສໍາລັບທໍ່ສົ່ງແລະການແຜ່ກະຈາຍ

ການສົ່ງອາຍແກັສທີ່ບໍລິສຸດແລະສະອາດສູງດ້ວຍທໍ່ນັ້ນຫມາຍຄວາມວ່າມີຄວາມຕ້ອງການຫຼືການຄວບຄຸມທີ່ແນ່ນອນສໍາລັບສາມດ້ານຂອງອາຍແກັສທີ່ຈະຂົນສົ່ງ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສ: ເນື້ອໃນຂອງບັນຍາກາດ impurity ໃນຄວາມບໍລິສຸດ gGas: ເນື້ອໃນຂອງບັນຍາກາດ impurity ໃນອາຍແກັສ, ປົກກະຕິແລ້ວສະແດງອອກເປັນເປີເຊັນຂອງຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສ, ເຊັ່ນ: 99.9999%, ຍັງສະແດງອອກເປັນອັດຕາສ່ວນປະລິມານຂອງບັນຍາກາດ impurity ເນື້ອໃນ ppm, ppb, ppt.

ຄວາມແຫ້ງແລ້ງ: ປະລິມານຄວາມຊຸ່ມຊື່ນຕາມຮອຍຂອງອາຍແກັສ, ຫຼືປະລິມານທີ່ເອີ້ນວ່າຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ປົກກະຕິແລ້ວສະແດງອອກໃນແງ່ຂອງຈຸດນ້ໍາຕົກ, ເຊັ່ນ: ຄວາມກົດດັນຂອງບັນຍາກາດ dew point -70.ຄ.

ຄວາມສະອາດ: ຈໍານວນຂອງອະນຸພາກປົນເປື້ອນທີ່ມີຢູ່ໃນອາຍແກັສ, ຂະຫນາດອະນຸພາກຂອງ µm, ຈໍານວນ particles / M3 ສະແດງອອກ, ສໍາລັບອາກາດ compressed, ປົກກະຕິແລ້ວຍັງສະແດງອອກໃນຂໍ້ກໍານົດຂອງຈໍານວນຫຼາຍ mg / m3 ຂອງແຂງທີ່ຫຼີກລ້ຽງບໍ່ໄດ້, ເຊິ່ງກວມເອົາເນື້ອໃນນ້ໍາມັນ. .

ການຈັດປະເພດຂະຫນາດຂອງມົນລະພິດ: ອະນຸພາກມົນລະພິດ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຫມາຍເຖິງການຂູດທໍ່, ການສວມໃສ່, ການກັດກ່ອນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໂດຍອະນຸພາກໂລຫະ, ອະນຸພາກ soot ບັນຍາກາດ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບຈຸລິນຊີ, phages ແລະ droplets ຂົ້ນອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນ, ແລະອື່ນໆ, ອີງຕາມຂະຫນາດຂອງຂະຫນາດອະນຸພາກຂອງມັນ. ແບ່ງອອກເປັນ

ກ) ອະນຸພາກຂະໜາດໃຫຍ່ – ຂະໜາດອະນຸພາກສູງກວ່າ 5μm

b) ອະນຸພາກ – ເສັ້ນຜ່າສູນກາງວັດສະດຸລະຫວ່າງ 0.1μm-5μm

c) Ultra-micro particles – ຂະໜາດອະນຸພາກໜ້ອຍກວ່າ 0.1μm.

ເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການ ນຳ ໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີນີ້, ເພື່ອໃຫ້ສາມາດເຂົ້າໃຈເຖິງຂະ ໜາດ ຂອງອະນຸພາກແລະຫົວ ໜ່ວຍ μm, ຊຸດສະຖານະພາບຂອງອະນຸພາກສະເພາະແມ່ນໄດ້ຖືກສະ ໜອງ ໃຫ້ເພື່ອອ້າງອີງ

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນການປຽບທຽບຂອງອະນຸພາກສະເພາະ