ວິທີແກ້ໄຂເຕັກໂນໂລຢີສໍາລັບລະບົບສົ່ງອາຍແກສທີ່ມີຄວາມຊໍານິຊໍານານສູງສໍາລັບຂະບວນການ semiconductor

ເຕັກໂນໂລຍີ piping ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນພາກສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງລະບົບການສະຫນອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງແມ່ນເຕັກນິກສໍາຄັນທີ່ຕ້ອງການໃຫ້ເຖິງຈຸດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຍັງຮັກສາຄຸນນະພາບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ; ເທັກໂນໂລຍີ piping ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງລວມມີການອອກແບບທີ່ຖືກຕ້ອງຂອງລະບົບ, ການຄັດເລືອກອຸປະກອນແລະອຸປະກອນເສີມ, ກໍ່ສ້າງແລະຕິດຕັ້ງ, ແລະການທົດສອບ. ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ຂໍ້ກໍານົດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງການຜະລິດຕະພັນ micro -lections ທີ່ສະແດງໂດຍເຕັກໂນໂລຢີ piping ທີ່ມີຄວາມກັງວົນແລະເນັ້ນຫນັກຫຼາຍຂື້ນ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນສະຫຼຸບໂດຍຫຍໍ້ກ່ຽວກັບທໍ່ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈາກການເລືອກວັດສະດຸof ການກໍ່ສ້າງ, ພ້ອມທັງການຍອມຮັບແລະການຄຸ້ມຄອງປະຈໍາວັນ.

ປະເພດຂອງອາຍແກັສທໍາມະດາ

ການຈັດປະເພດທາດອາຍຜິດທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກ：

ທາດອາຍຜິດທົ່ວໄປ(ອາຍແກັດຫຼາຍ): hydrogen (h₂₎, ໄນໂຕຣເຈນ (ນ₂), ອົກຊີເຈນ (o₂), argon (a₂), ແລະອື່ນໆ.

ທາດໂປຼຕີນພິເສດແມ່ນ sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  bcl_{3 ,}SIF₄ ,ຄຄຊາ₃ ,ຮ່ວມ,C₂F_6, N2O,F_2,Hf,Hbr sf₆...... ແລະອື່ນໆ

ປະເພດຂອງອາຍແກັສພິເສດສາມາດຖືກຈັດປະເພດເປັນ corrosiveແກັສ, ເປັນພິດແກັສ, ໄວໄຟແກັສ, ປະສົມປະສານແກັສ, inertແກັສແລະອື່ນໆ. ທາດອາຍຜິດທົ່ວໄປທົ່ວໄປທົ່ວໄປຖືກຈັດປະເພດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້.

(i) corrosive / ເປັນພິດແກັສ: HCL, BF₃, wf₆, HBR, SIH₂Cl₂, nh₃pH₃, cl₂, bcl₃... ແລະອື່ນໆ.

(ii) ຄວາມໄວໄຟແກັສ: h₂, ch₄, sih₄pH₃, Ash3, SIH₂Cl₂, ຂ₂H₆, CH2F_2,ch₃F, CO ... ແລະອື່ນໆ.

(iii) ການປະສົມປະສານແກັສ: o₂, cl₂, ນ₂o, nf₃... ແລະອື່ນໆ

(iv) inertແກັສ: ນ₂, cf₄, c₂F₆, c₄F_8,SF₆, ຮ່ວມ₂, ບໍ່, KR, ລາວ ... ແລະອື່ນໆ.

ຫຼາຍກຼາມ semiconductor ແມ່ນເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ຮ່າງກາຍຂອງມະນຸດ. ໂດຍສະເພາະ, ບາງທາດຂອງທາດອາຍເຫຼົ່ານີ້, ເຊັ່ນ SIH₄ ການເຜົາໃຫມ້ຕາມລໍາດັບ, ຕາບໃດທີ່ການຮົ່ວໄຫຼຈະມີປະຕິກິລິຍາຢ່າງຮຸນແຮງກັບອົກຊີເຈນໃນອາກາດແລະເລີ່ມຕົ້ນໄຫມ້; ແລະຂີ້ເທົ່າ₃ເປັນສານພິດສູງ, ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຊີວິດມະນຸດ, ມັນແມ່ນຍ້ອນຄວາມອັນຕະລາຍທີ່ຈະແຈ້ງເຫຼົ່ານີ້, ສະນັ້ນຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄວາມປອດໄພຂອງການອອກແບບລະບົບແມ່ນສູງໂດຍສະເພາະ.

ຂອບເຂດຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງທາດອາຍຜິດ  

ເປັນວັດຖຸດິບພື້ນຖານພື້ນຖານທີ່ສໍາຄັນຂອງຜະລິດຕະພັນອາຍແກັສ, ແລະທາດອາຍພິດທົ່ວໄປ, ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າ, ເຄື່ອງຍ່ອຍ, ການປຸງແຕ່ງ, ຂະແຫນງການ, ຢາແລະຂະແຫນງການແພດ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງອາຍແກັສມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສູງຂອງທົ່ງນາເຫຼົ່ານີ້ໂດຍສະເພາະ, ແລະແມ່ນອາຍແກັສວັດຖຸດິບຫຼືອາຍແກັສຂະບວນລົດ. ພຽງແຕ່ມີຄວາມຕ້ອງການແລະການສົ່ງເສີມຂະແຫນງການອຸດສາຫະກໍາໃຫມ່ແລະເຕັກໂນໂລຢີທີ່ທັນສະໄຫມ, ຜະລິດຕະພັນອຸດສາຫະກໍາອາຍແກັສສາມາດພັດທະນາໄດ້ໂດຍການກ້າວກະດານແລະຂອບເຂດໃນແງ່ຂອງຄວາມຫລາກຫລາຍ, ຄຸນນະພາບແລະປະລິມານ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອາຍແກັສໃນຈຸລະພາກແລະອຸດສາຫະກໍາ semiconductor

ການນໍາໃຊ້ອາຍແກັສໄດ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸດສະຫະກໍາ semiconductor, ໂດຍສະເພາະແມ່ນຂະບວນການ allo-medic-elector (mems) ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສມີຜົນກະທົບທີ່ຕັດສິນໃນການປະຕິບັດງານຂອງສ່ວນປະກອບແລະຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະຄວາມປອດໄພຂອງສຸຂະພາບຂອງບຸກຄະລາກອນແລະຄວາມປອດໄພຂອງການດໍາເນີນງານຂອງພືດ.

ຄວາມສໍາຄັນຂອງທໍ່ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງໃນການຂົນສົ່ງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ໃນຂັ້ນຕອນຂອງການເຫຼັກສະແຕນເລດ melting ແລະເຮັດອຸປະກອນການ, ປະມານ 200g ຂອງອາຍແກັສສາມາດດູດຊຶມໄດ້ຕໍ່ໂຕນ. ຫຼັງຈາກການປຸງແຕ່ງເຫລັກສະແຕນເລດ, ບໍ່ພຽງແຕ່ໃຊ້ຫນຽວຂອງມັນດ້ວຍສິ່ງປົນເປື້ອນຕ່າງໆ, ແຕ່ຍັງຢູ່ໃນໂລຫະຂອງມັນກໍ່ຍັງດູດເອົາຈໍານວນຫນຶ່ງຂອງອາຍແກັສ. ໃນເວລາທີ່ມີກະແສລົມຜ່ານທໍ່, ໂລຫະດູດເອົາສ່ວນຂອງອາຍແກັສສ່ວນນີ້ຈະເຂົ້າໄປໃນກະແສລົມໃຫມ່, ມົນລະພິດອາຍແກັສທີ່ບໍລິສຸດ. ໃນເວລາທີ່ກະແສລົມໃນທໍ່ແມ່ນໄຫລວຽນ, ທໍ່ສົ່ງແກ theorbs ພາຍໃຕ້ກົດດັນ, ແລະອາຍແກັສທີ່ຖືກແກ້ໄຂກໍ່ຈະເຂົ້າໄປໃນອາຍແກັສທີ່ບໍລິສຸດໃນທໍ່ທີ່ບໍ່ສະອາດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ການໂຄສະນາແລະຄວາມລະອຽດແມ່ນຊ້ໍາແລ້ວຊ້ໍາອີກ, ເພື່ອໃຫ້ມີຝຸ່ນພາຍໃນຍັງສາມາດເຮັດໃຫ້ຜົງທີ່ມີຈໍານວນຢູ່ໃນນ້ໍາຜົງມັນກໍ່ອາດຈະມົນລະພິດກ gas າຊບໍລິສຸດພາຍໃນທໍ່. ລັກສະນະຂອງທໍ່ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສຂົນສົ່ງ, ເຊິ່ງຮຽກຮ້ອງໃຫ້ກ້ຽງຂອງພື້ນຜິວດ້ານໃນຂອງທໍ່ພາຍໃນ, ແຕ່ຍັງມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ໄປ.

ໃນເວລາທີ່ອາຍແກັສທີ່ມີການປະຕິບັດການຕັດທີ່ແຂງແຮງທີ່ຖືກຕ້ອງ, ທໍ່ສະແຕນເລດສະແຕນເລດທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ຕ້ອງໃຊ້ສໍາລັບທໍ່. ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນ, ທໍ່ນັ້ນຈະຜະລິດຈຸດທີ່ຖືກກັດໃນດ້ານໃນເນື່ອງຈາກການກັດກ່ອນ, ແລະໃນກໍລະນີທີ່ຮ້າຍແຮງຫຼືແມ້ກະທັ້ງການລອກເອົາໂລຫະທີ່ມີຄວາມສຸກຫລືກໍ່ຈະມີການແຜ່ລະບາດຂອງອາຍແກັສທີ່ບໍລິສຸດ.

ການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະມີທໍ່ສົ່ງຈົດຫມາຍທີ່ມີຄວາມສະອາດແລະການແຈກຢາຍອາຍແກັສທີ່ມີລາຄາຖືກ.

ໃນຫຼັກການ, ພວກມັນທັງຫມົດແມ່ນເຊື່ອມໂລຫະ, ແລະທໍ່ທີ່ໃຊ້ແລ້ວແມ່ນຕ້ອງການບໍ່ມີການປ່ຽນແປງໃນເວລາທີ່ການເຊື່ອມໂລຫະ. ວັດສະດຸທີ່ມີເນື້ອໃນທີ່ມີກາກບອນສູງເກີນໄປທີ່ມີອາກາດສາມາດເຂົ້າຫນົມປັງໄດ້, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມສະອາດແລະຄວາມສະອາດຂອງຄວາມພະຍາຍາມຂອງພວກເຮົາ.

ສະຫລຸບລວມແລ້ວ, ສໍາລັບທໍ່ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະມີຄວາມຈໍາເປັນໃນການຮັກສາທໍ່ສະແຕນເລດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ (

ແນວຄິດທົ່ວໄປກ່ຽວກັບເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສະອາດສໍາລັບທໍ່ສົ່ງຈົດຫມາຍແລະການແຈກຢາຍ

ລະບົບສາຍສົ່ງຂອງຮ່າງກາຍທີ່ບໍລິສຸດແລະສະອາດດ້ວຍທໍ່ນ້ໍາມັນກຶກຫມາຍຄວາມວ່າມີຄວາມຕ້ອງການບາງຢ່າງຫຼືຄວບຄຸມໃນສາມດ້ານຂອງອາຍແກັສທີ່ຈະຂົນສົ່ງ.

ຄວາມບໍລິສຸດຂອງກ gas າຊ: ເນື້ອໃນຂອງບັນຍາກາດທີ່ບໍ່ສະອາດໃນ GGAS ATMosphere ຂອງອາຍແກັສ, ໂດຍປົກກະຕິໄດ້ສະແດງອອກເປັນເອກະພາບຂອງລະດັບຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານ PPM, PPB, PPT.

ຄວາມແຫ້ງແລ້ງ: ຈໍານວນຂອງຮ່ອງຮອຍທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມໃນອາຍແກັສ, ຫຼືຈໍານວນທີ່ເອີ້ນວ່າຄວາມຊຸ່ມ, ມັກຈະສະແດງອອກໃນເວລານໍ້າຫນັກຂອງຈຸດຫຼຸດລົງ -70. C.

ຄວາມສະອາດ: ຈໍານວນຂອງອະນຸພາກທີ່ປົນເປື້ອນບັນຈຸຢູ່ໃນຂະຫນາດຂອງອະນຸພາກ, ຂະຫນາດ / M3 ເພື່ອສະແດງອອກໃນສ່ວນທີ່ແຂງແກ່ນຂອງ MG / M3 ຈໍານວນເທົ່າໃດທີ່ມີເນື້ອທີ່ມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍ.

ການຈັດປະເພດຂະຫນາດມົນລະພິດ: ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຫມາຍເຖິງທໍ່ສົ່ງ, ສ່ວນປະກອບ, ພ້ອມທັງຢອດນ້ໍາກ້ອນ, ແລະອື່ນໆ, ຕາມຂະຫນາດຂອງຂະຫນາດຂອງມັນແບ່ງອອກເປັນ

a) ອະນຸພາກຂະຫນາດໃຫຍ່ - ຂະຫນາດຂອງອະນຸພາກສູງກວ່າ5μm

b) ອະນຸພາກ - ເສັ້ນຜ່າສູນກາງເອກະສານລະຫວ່າງ0.1μm-5 m

c) ອະນຸພາກຈຸນລະພາກທີ່ສຸດ - ຂະຫນາດຂອງອະນຸພາກຫນ້ອຍກວ່າ 0.1 ຮາມ.

ເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການນໍາໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີນີ້, ເພື່ອຈະສາມາດເຂົ້າໃຈຄວາມເຂົ້າໃຈຂອງຂະຫນາດຂອງອະນຸພາກແລະຫົວຫນ່ວຍ, ຊຸດຂອງສະຖານະພາບຂອງອະນຸພາກສະເພາະແມ່ນໃຫ້ສໍາລັບການອ້າງອີງ

ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນການປຽບທຽບຂອງອະນຸພາກສະເພາະ