ທາດອາຍາບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນຕະຫຼອດຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງ semiconductor. ໃນຄວາມເປັນຈິງ, ສໍາລັບທາດອາຍພິດທີ່ທໍາມະດາ, ອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດແມ່ນລາຍຈ່າຍວັດຖຸທີ່ໃຫຍ່ທີ່ສຸດຫຼັງຈາກຊິລິໂຄນເອງ. ໃນເວລາທີ່ມີການຂາດແຄນຂອງຊິບທົ່ວໂລກ, ອຸດສາຫະກໍາກໍາລັງຂະຫຍາຍໄວກ່ວາເກົ່າ - ແລະຄວາມຕ້ອງການຂອງທາດອາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
ທາດອາຍຜິດຫຼາຍທີ່ສຸດທີ່ໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດໃນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນໄນໂຕຣເຈນ, helium, hydrogen ແລະ argon.
Nຂີ້ມັນ
ໄນໂຕຣເຈນປະກອບດ້ວຍ 78% ຂອງບັນຍາກາດຂອງພວກເຮົາແລະມີຄວາມອຸດົມສົມບູນທີ່ສຸດ. ມັນຍັງເກີດຂື້ນທີ່ຈະມີສານເຄມີທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບແລະບໍ່ມີປະສິດຕິພາບ. ດັ່ງນັ້ນ, ໄນໂຕຣເຈນໄດ້ພົບເຫັນວິທີການຂອງຕົນໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ເປັນອາຍແກັສທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແມ່ນຜູ້ບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນຂອງໄນໂຕຣເຈນ. ໂຮງງານຜະລິດທີ່ມີ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມຄາດວ່າຈະໃຊ້ທາດໄນໂຕຣເຈນໄດ້ເຖິງ 50,000 ແມັດກ້ອນຕໍ່ຊົ່ວໂມງ. ໃນການຜະລິດ semiconductor, nitrogen ເຮັດເປັນຕົວຢ່າງທົ່ວໄປໃນຈຸດປະສົງທົ່ວໄປແລະອາຍແກັສໃຫ້ລ້າງ, ປົກປ້ອງເຄື່ອງດື່ມຊິລິໂຄນທີ່ລະອຽດອ່ອນຈາກ Oxygen ແລະຄວາມຊຸ່ມໃນອາກາດ.
ເຮື່ອເອກ
helium ແມ່ນອາຍແກັສ inert. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າແນວນັ້ນ, ເຊັ່ນດຽວກັບໄນໂຕຣເຈນ, helium ແມ່ນ ineert ເຄມີ - ແຕ່ມັນຍັງມີປະໂຫຍດທີ່ເພີ່ມຂື້ນຂອງການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ. ນີ້ແມ່ນມີປະໂຫຍດໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດ semiconductor, ຊ່ວຍໃຫ້ມັນມີຄວາມຮ້ອນຈາກຂະບວນການສູງແລະຊ່ວຍປົກປ້ອງພວກມັນຈາກຄວາມຮ້ອນແລະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີທີ່ບໍ່ຕ້ອງການ.
hydrogen
Hydrogen ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງທົ່ວຂະບວນການຜະລິດເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າ, ແລະການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນບໍ່ມີຂໍ້ຍົກເວັ້ນ. ໂດຍສະເພາະ, hydrogen ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບ:
annealing: ແສງຊິລິໂຄນມັກຈະຮ້ອນດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງແລະເຢັນລົງໃນການສ້ອມແປງ (Annal) ໂຄງສ້າງຂອງ Crystal. hydrogen ແມ່ນໃຊ້ໃນການໂອນຄວາມຮ້ອນໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແກ່ Wafer ແລະເພື່ອຊ່ວຍໃນການສ້າງໂຄງສ້າງຂອງ Crystal.
Epitaxy: Hydrogen Puritaxy-Fulity-High-Purity ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຕົວແທນຫຼຸດຜ່ອນໃນການຝາກປະກອບຂອງ semiconductor ເຊັ່ນຊິລິໂຄນແລະເຢຍລະມັນ.
ການຝາກເງິນ: Hydrogen ສາມາດເຮັດໄດ້ໃນຮູບເງົາຊິລິໂຄນເພື່ອເຮັດໃຫ້ໂຄງສ້າງປະລໍາມະນູຂອງພວກເຂົາແມ່ນບໍ່ຖືກຕ້ອງ, ຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານ.
ທໍາຄວາມສະອາດ plasma: pladrogen plasma ແມ່ນມີປະສິດທິຜົນໂດຍສະເພາະໃນການກໍາຈັດການປົນເປື້ອນກົ່ວຈາກແຫຼ່ງແສງສະຫວ່າງທີ່ໃຊ້ໃນ UV lithography.
ປະມາດ
Argon ແມ່ນອີກອັນຫນຶ່ງອາຍແກັສທີ່ສູງ, ສະນັ້ນມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນປະຕິກິລິຍາທີ່ຕໍ່າຄືກັນກັບໄນໂຕຣເຈນແລະທາດ helium. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ພະລັງງານ ionization ຕ່ໍາຂອງ argon ແມ່ນເຮັດໃຫ້ມັນມີປະໂຫຍດໃນການນໍາໃຊ້ semiconductor. ເນື່ອງຈາກຄວາມສະດວກສະບາຍຂອງພີ່ນ້ອງຂອງມັນແມ່ນໃຊ້ທົ່ວໄປເປັນອາຍແກັສຕົ້ນຕໍຂອງ plasma ສໍາລັບປະຕິກິລິຍາແລະການຝາກເງິນໃນ semiconductor. ນອກເຫນືອໄປຈາກນີ້, argon ຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນ lasers excimer ສໍາລັບ UV lithography.
ເປັນຫຍັງຈຶ່ງມີຄວາມບໍລິສຸດສໍາຄັນ
ໂດຍປົກກະຕິ, ຄວາມກ້າວຫນ້າໃນເຕັກໂນໂລຍີ semiconductor ໄດ້ບັນລຸໄດ້ໂດຍຜ່ານຂະຫນາດຂະຫນາດ, ແລະເຕັກໂນໂລຍີ semiconductor ໃຫມ່ແມ່ນມີລັກສະນະທີ່ມີຄຸນລັກສະນະນ້ອຍກວ່າ. ສິ່ງນີ້ໃຫ້ຜົນປະໂຫຍດຫຼາຍຢ່າງ: transistor ຫຼາຍໃນປະລິມານທີ່ໄດ້ຮັບ, ການປັບປຸງໃນປະເທດທີ່ໄດ້ຮັບການປັບປຸງ, ການໃຊ້ພະລັງງານຕ່ໍາແລະມີການໃຊ້ໄຟຟ້າຕ່ໍາ.
ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ໃນຂະນະທີ່ຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນຫຼຸດລົງ, ອຸປະກອນ semiconductor ກາຍເປັນສິ່ງທີ່ຊັບຊ້ອນເພີ່ມຂື້ນ. ໃນໂລກທີ່ຕໍາແຫນ່ງຂອງບຸກຄົນປະລໍາມະນູປະຈໍາເດືອນ, ຄວາມທົນທານຕໍ່ຄວາມທົນທານແມ່ນເຄັ່ງຄັດຫຼາຍ. ດັ່ງນັ້ນ, ຂະບວນການ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີທາດອາຍໃນການປຸງແຕ່ງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສຸດ.
ລະບົບສະຫນອງອາຍແກັສແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດ, ສ່ວນປະກອບ, ການຕິດຕັ້ງແລະການກໍ່ສ້າງຂອງໂຄງການ, ການທົດສອບລະບົບໂດຍລວມ, ການບໍາລຸງຮັກສາແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ຮອງຮັບອື່ນໆໃນແບບປະສົມປະສານ.
ເວລາໄປສະນີ: Jul-11-2023