ອຸປະກອນບໍາບັດນ້ໍາມັນອາຍແກັສສາມາດຈັດການກັບທາດອາຍພິດທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ etching ແລະອຸດສາຫະກໍາພະລັງງານເຄມີ, ແລະ NF6, NF6, NF6, NF6, NH6, NH3, NH3, NH3, N2O, ແລະອື່ນໆ.
ວິທີການຮັກສາອາຍແກັສ
ອີງຕາມຄຸນລັກສະນະຂອງການຮັກສາອາຍແກັສຫາຍໃຈ, ການປິ່ນປົວສາມາດແບ່ງອອກເປັນ 4 ປະເພດການປິ່ນປົວ:
1. ປະເພດການລ້າງນ້ໍາ (ການຮັກສາທາດອາຍຜິດ)
2. ປະເພດການຜຸພັງ (ການຈັດການກັບອາຍແກັສທີ່ປະສົມປະສານແລະເປັນພິດ)
3. ການໂຄສະນາ (ອີງຕາມປະເພດຂອງເອກະສານໂຄສະນາເພື່ອຈັດການກັບແກັດສະຫາຍທີ່ສອດຄ້ອງກັນ).
ປະເພດການປະສົມ 4. ຫຼອດກິວັດສົດໃສ (ທຸກຊະນິດທີ່ສະຫາຍສາມາດປິ່ນປົວໄດ້).
ການປິ່ນປົວແຕ່ລະປະເພດມີຂໍ້ດີແລະຂໍ້ເສຍຂອງຕົນເອງພ້ອມທັງຂອບເຂດຂອງການສະຫມັກ. ໃນເວລາທີ່ວິທີການປິ່ນປົວແມ່ນການລ້າງນ້ໍາ, ອຸປະກອນແມ່ນລາຄາຖືກແລະລຽບງ່າຍ, ແລະສາມາດຈັດການກັບອາຍແກັສທີ່ລະລາຍໄດ້; ລະດັບການສະຫມັກຂອງປະເພດການລ້າງນ້ໍາໄຟຟ້າແມ່ນສູງກ່ວາປະເພດການລ້າງນ້ໍາ, ແຕ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການປະຕິບັດງານແມ່ນສູງ; ປະເພດແຫ້ງມີປະສິດທິພາບດ້ານການປິ່ນປົວທີ່ດີ, ແລະບໍ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້ກັບກະແສອາຍແກັສທີ່ງ່າຍທີ່ຈະອຸດຕັນຫຼືໄຫຼ.
ສານເຄມີແລະຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຂົາໂດຍທົ່ວໄປທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ສາມາດຖືກຈັດປະເພດຕາມຄຸນສົມບັດທາງເຄມີແລະຂອບເຂດຂອງພວກມັນ:
1. ກ as gases flammable ເຊັ່ນ Sih4h2, ແລະອື່ນໆ.
2. ທາດອາຍພິດທີ່ເປັນພິດເຊັ່ນ Ash3, Ph3, ແລະອື່ນໆ.
3. ອາຍແກັສທີ່ຂຽນໄວ້ເຊັ່ນ HF, HCL, ແລະອື່ນໆ.
4. ອາຍແກັສເຮືອນແກ້ວເຊັ່ນ CF4, NF3, ແລະອື່ນໆ.
ເນື່ອງຈາກວ່າສີ່ທາດອາຍຜິດແມ່ນເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມຫຼືຮ່າງກາຍ ສະນັ້ນ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງເລືອກແລະກົງກັບອຸປະກອນບໍາບັດອາຍແກັສທີ່ສອດຄ້ອງກັນຕາມຄຸນລັກສະນະຂອງອາຍແກັສທີ່ມາຈາກແຕ່ລະຂະບວນການເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາອາຍແກັສທີ່ສະຫາຍໃນແບບນ້ອຍໆ. ໃນຂະນະທີ່ພື້ນທີ່ການເຮັດວຽກສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຢູ່ຫ່າງຈາກລະບົບການຮັກສາອາຍແກັສທີ່ເຮັດໃຫ້ນ້ໍາມັນແຫ້ງຢູ່ໃນທໍ່ນ້ໍາມັນ, ແລະເປັນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດການລະເບີດ, ບໍ່ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພໃນການເຮັດວຽກຂອງສະຖານທີ່. ສະນັ້ນ, ໃນພື້ນທີ່ເຮັດວຽກຈໍາເປັນຕ້ອງກໍາຫນົດຄ່າອຸປະກອນບໍາລຸງຮັກສາອາຍແກັສຂະຫນາດນ້ອຍທີ່ເຫມາະສົມກັບອາຍແກັສຂະຫນາດນ້ອຍ, ເພື່ອຫຼຸດກ່ວາອາຍແກັສ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມປອດໄພຂອງບຸກຄະລາກອນ.
ເວລາໄປສະນີ: Aug-10-2023